Сочетает близкое к кремнию тепловое расширение, оптическую прозрачность, диэлектрические свойства и стабильность обработки пластин — для проектов MEMS, датчиков и микрофлюидики.
Выбор материала начинается с теплового согласования, качества поверхности, однородности толщины и последующего процесса соединения и переходит в проверяемые требования чертежа.
Типичный CTE в диапазоне 0–300 °C составляет 3,43 × 10⁻⁶/°C — подходит для оценки анодного соединения и корпусирования пластинчатого уровня.
Спецификация поставки может строиться вокруг диаметра пластины, толщины, TTV, коробления и формы кромки.
Обладает прозрачностью в видимом диапазоне и опубликованными диэлектрическими параметрами, пригодно для оптических датчиков и микроэлектронных структур.
PYREX® Micro-Electro — боросиликатное стекло для микроэлектроники и применений пластинчатого уровня; подходит для проектов, требующих теплового согласования стекло—кремний, оптических окон, электроизоляции или крышек корпусов.
На поставку обычно влияет не само название материала, а толщина, TTV, коробление, качество кромки, чистота поверхности и способ упаковки. По чертежу мы оцениваем эти требования вместе с процессами резки, шлифовки, полировки, очистки и контроля.
| Плотность | 2,234 г/см³ |
|---|---|
| Модуль Юнга | 61,5 ГПа |
| Коэффициент Пуассона / модуль сдвига | 0,19 / 25,8 ГПа |
| Твёрдость по Виккерсу | 520 кгс/мм² (нагрузка 200 г) |
| Коэффициент линейного расширения CTE | 3,43 × 10⁻⁶/°C (0–300 °C) |
| Точка размягчения / отжига / деформации | 814 °C / 546 °C / 498 °C |
| Теплопроводность | 1,10 Вт/(м·К) (50 °C); 1,56 Вт/(м·К) (500 °C) |
| Показатель преломления | 1.472 (589.3 nm) |
| Диэлектрическая проницаемость / тангенс угла потерь | 4,68 / 0,0041 (0,5 ГГц); 4,55 / 0,0084 (10 ГГц) |
| Удельное объёмное сопротивление | log₁₀ ρ = 8,01 Ом·см (250 °C) |
Стандартные и индивидуальные возможности подтверждаются с учётом складских запасов, партии, технологического маршрута и условий приёмки проекта.
0,20 · 0,50 · 0,70 · 0,85 · 1,10 · 1,40 мм
Спецификации пластин подтверждаются по проекту; панели оцениваются до 600 × 600 мм
TTV, коробление, допуск толщины и требования к поверхности подтверждаются совместно по чертежу и технологии
TTV пластин оценивается до ≤1 мкм; возможности по короблению панелей и пластин зависят от размеров, толщины и условий измерения; официальные показатели должны быть внесены в согласованную спецификацию.
Технологический маршрут строится вокруг кромки с малыми повреждениями, однородности толщины, чистоты поверхности и совместимости с последующими процессами.
Услуги прецизионной обработки стекла Прецизионная шлифовка стекла для боросиликатного стекла, алюмосиликатного стекла, …
Смотреть обработку
Маршрут резки стекла планируется вокруг размеров, баз, состояния кромки и последующих операций; по чертежу оцениваются контур, припуск на резку и требования к поставке.
Смотреть обработку
Операции шлифовки и полировки назначаются по толщине, параллельности, плоскостности и требованиям к поверхности; маршрут обработки и способ контроля подтверждаются по проекту.
Смотреть обработку
Контролируются частицы, остатки и следы воды после обработки; требования к очистке, перемещению и упаковке подтверждаются с учётом нанесения покрытий, склейки или сборки.
Смотреть обработку
По чертежу и согласованным пунктам приёмки проверяются размеры, кромка и состояние поверхности стекла; определяются метод контроля, объём выборочной проверки и записи о поставке.
Смотреть обработку
Удаляются острые кромки и локальные дефекты кромки после резки стекла; по требованиям сборки определяются вид шлифовки кромки, фаски и стандарт приёмки кромки.
Смотреть обработку
Для микроотверстий в стекле, массивов отверстий и локальных отверстий лазерное сверление оценивается с учётом материала, толщины и структуры отверстий.
Смотреть обработкуПрименимость следует проверять с учётом термоциклов, конструкционных напряжений, метода соединения, оптического диапазона и требований к чистоте.
Этот материал предназначен для микроэлектроники и применений пластинчатого уровня; при закупке особое внимание уделяется проверяемым показателям: TTV, короблению, поверхности, кромке и чистоте.
Его тепловое расширение подходит для оценки соединения стекло—кремний, но напряжение, температуру, поверхность и чистоту всё равно нужно проверять по конкретному оборудованию и конструкции.
В открытых материалах указаны различные форматы пластин и тонких листов; фактические размеры, количество и сроки уточняйте по чертежу при запросе.
Оценка возможна, но возможности зависят от размеров, толщины, припуска и метода измерения и должны быть подтверждены до заказа.
Укажите контур, толщину, количество, TTV, коробление, кромку, поверхность, чистую упаковку, назначение и срок поставки.
Пришлите чертёж, количество и ключевые пункты приёмки — по ним мы подтвердим материал, технологический маршрут, методы контроля и срок поставки.