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Corning EAGLE XG 无碱玻璃晶圆与超薄片材
CORNING® EAGLE XG® 原厂材料

Corning® EAGLE XG®无碱硼铝硅酸盐玻璃

采用康宁熔融拉制工艺成形,兼具超低碱含量、优异原始表面、低热膨胀和高尺寸稳定性,适合晶圆级光学、显示与微电子基板。

EAGLE XG® 材料供应

康宁 EAGLE XG® 原厂薄玻璃供应

EAGLE XG® 是无碱的碱土硼铝硅酸盐玻璃,不含砷、锑、钡等重金属。其热膨胀与硅相近,并具备较高应变点、光学透明度、化学耐久性与固有尺寸稳定性,可用于晶圆级光学、电子器件与显示基板项目。

Fusion 原始表面成形时表面不接触成形介质,适合对洁净度与平整度敏感的基板项目。
无碱与热稳定性低碱含量、较高应变点与低热膨胀,适合显示、光学和微电子制程。
晶圆与薄片供货支持晶圆、矩形片和划线片,并可衔接打样、小批与批量交付。

EAGLE XG® 材料特点

康宁专有 Fusion 熔融拉制工艺让玻璃在空气中形成平整薄片,并实现稳定厚度控制。对于晶圆级光学和半导体加工,表面粗糙度、TTV、翘曲、边缘状态与洁净包装需要与材料牌号同时确认。

材料的 0–300°C 平均线膨胀系数为 3.4 × 10⁻⁶/°C,应变点为 669°C;较高热稳定性有利于后续高温制程。EAGLE XG® 的总碱含量约 0.1 wt%,典型值低于 0.05 wt%。

光学玻璃检测
EAGLE XG® 晶圆、矩形薄片与加工样品位置
材料数据表

EAGLE XG® 基本性能参数

下载官方 PDF ↓
材料与成形无碱碱土硼铝硅酸盐玻璃;Fusion 熔融拉制
密度2.38 g/cm³
杨氏模量73.6 GPa
泊松比 / 剪切模量0.23 / 30.1 GPa
维氏硬度640 kgf/mm²(200 g 载荷)
断裂韧性0.89 MPa·m0.5
线膨胀系数 CTE3.4 × 10⁻⁶/°C(0–300°C;20–260°C)
软化点 / 退火点 / 应变点971°C / 722°C / 669°C
导热率1.10 W/(m·K)(25°C);1.42 W/(m·K)(500°C)
折射率1.5159(480 nm);1.5097(589.3 nm);1.5004(1,000 nm)
阿贝数62.7
介电常数 / 损耗角正切5.28 / 0.002(100 MHz);5.14 / 0.008(10 GHz)
体积电阻率log10 ρ = 22.92 Ω·cm(25°C);12.98 Ω·cm(250°C)
耐候等级1 级
总碱含量约 0.1 wt%;典型值低于 0.05 wt%
以上数据为公开资料中的典型或参考值,并非成品保证值。正式采购与验收以对应批次材料文件、图纸及双方确认的规格为准。
供货规格

EAGLE XG® 晶圆与薄片规格

以下为康宁 Precision Glass Solutions 数据表所列标准能力;库存、起订量与交期按项目确认。

典型形式晶圆 / 矩形片 / 划线片
标准厚度0.20–0.70 mm
晶圆直径

100 · 150 · 200 · 300 mm

标准厚度

0.20 · 0.21 · 0.25 · 0.30 · 0.40 · 0.50 · 0.70 mm

典型公差与表面

外形 ±0.3 mm;厚度 ±0.01 mm;Scratch/Dig 60/40 至 20/10;Ra ≤ 10 Å

更紧的尺寸、厚度、表面和边缘要求可按图纸评估;正式验收以双方确认的规格书为准。

材料 + 加工

从 EAGLE XG® 薄玻璃到可装配精密基板

加工重点是减少表面接触,并把装夹、边缘、清洗、检验和包装作为连续流程设计。

精密切割与分片根据晶圆或矩形片尺寸、厚度与允许崩边规划切割路径和装夹方式。
边缘、清洗与保护针对超薄玻璃控制边缘微缺口、颗粒残留、水迹、保护膜和周转方式。
尺寸与外观检验按项目确认尺寸、厚度、TTV、翘曲、表面质量与洁净包装要求。
询价请提供外形、厚度、数量、公差、边缘形式、表面等级、洁净包装、用途与期望交期;有图纸时请一并发送。
典型应用

EAGLE XG® 适合的项目

材料选择仍需结合温度、结构、厚度、表面和后续制程共同确认。

晶圆级光学微光学阵列、晶圆级镜头与需要高质量表面的光学基板。
显示与触控显示背板、触控与电子玻璃研发样件。
半导体与传感载片、封装盖板、传感器基板及微电子结构。
研发验证多厚度、小批量、定制外形的材料与工艺验证。
采购 FAQ

EAGLE XG® 采购常见问题

EAGLE XG® 是什么类型的玻璃?

它是采用康宁 Fusion 熔融拉制工艺生产的无碱碱土硼铝硅酸盐玻璃,面向显示、晶圆级光学和微电子基板应用。

可提供哪些晶圆与厚度?

公开数据表列出 100、150、200、300 mm 晶圆,以及 0.20、0.21、0.25、0.30、0.40、0.50、0.70 mm 厚度;实际库存与交期请询价确认。

是否可以提供更紧的尺寸规格?

可以按项目沟通更紧的尺寸、厚度、表面和边缘要求,最终能力以图纸评估与确认的规格书为准。

为什么薄玻璃加工要特别关注边缘?

微小边缘缺口可能影响搬运、装配与使用强度,因此切割路径、装夹、边缘处理和保护包装需要一起规划。

询价时需要提供哪些信息?

请提供外形、厚度、数量、公差、边缘、表面、洁净包装、用途和交期;有图纸时请一并发送。

把 EAGLE XG® 材料规格和加工要求放在同一份询价里

提供晶圆或片材尺寸、厚度、数量和关键验收项,我们按材料特性匹配切割、边缘、清洗与检验流程。