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玻璃基板案例
CASE STUDY · 精密玻璃基板

玻璃基板加工案例

从应用条件出发选择玻璃基板材料,并把尺寸、厚度、表面、孔位、洁净与后续工艺要求统一管理。

项目概览

从材料确认到成品交付的完整路线

玻璃基板广泛用于光学、显示、传感、电子与实验装置。不同应用对热膨胀、透光波段、碱含量、厚度稳定和表面状态的关注不同,因此材料选型和后续加工必须同步评估。

典型材料
BOROFLOAT® 33、EAGLE XG®、熔融石英、无碱玻璃
主要工序
切割、打孔、磨边、研磨抛光、清洗
控制重点
材料匹配、尺寸、厚度、表面与洁净
应用方向
光学、显示、传感、电子与实验设备
讨论类似项目
ENGINEERING GUIDE

同一外形,不同应用需要不同玻璃

光学基板关注透过和表面;电子薄膜基板关注碱离子、应变点和洁净;传感封装关注热匹配、孔位和密封;机械支撑基板则重视厚度、平面和边缘。应先确定功能,再选择材料与加工等级。

应用场景

可以用在什么地方

  • 光学滤光、增透、反射或功能镀膜基片
  • 传感器、MEMS、微流控和电子封装基板
  • 显示、触控、薄膜电极和微加热器基板
  • 激光、成像、分析和检测仪器中的透明支撑
  • 实验室载片、承载台、绝缘片和精密垫片
选材逻辑

为什么需要玻璃

玻璃可提供透明、电绝缘、耐化学、低气体渗透和稳定几何界面。通过不同材料体系,可以匹配低碱、低 CTE、高温、紫外、键合或强化等具体需求。

材料选择

常用材料与适用方向

材料适用方向选择重点
BOROFLOAT® 33通用耐热、耐化学和工业精密基板低膨胀、规格多、综合加工性好
EAGLE XG® / 无碱玻璃显示、薄膜、传感和低碱电子制程降低离子迁移并保持优质表面
熔融石英 / JGS1紫外、激光、高温和低 CTE确认光谱、纯度和内部质量
铝硅玻璃薄型、高强度盖板或结构可配合强化,牌号和工艺需匹配
PYREX® Micro-Electro玻璃—硅键合和 MEMS热匹配、透明和电绝缘
典型参数

常用询价参数

项目常用起点或写法工程说明
外形长×宽、直径、R 角、孔槽和基准决定设备、装配和排版
厚度从 0.10 mm 薄片到数十毫米厚板影响刚度、透过、热应力和工艺时间
厚度公差/TTV按结构件、精密基板或键合件分级中心厚度不能代替面内厚差
平面度/翘曲按有效区域、支撑和测量方法定义影响镀膜、贴合、光刻和密封
表面质量原始面、研磨面或抛光面分区定义不同功能面可采用不同等级
孔槽孔径、入口/出口、锥度、孔距、位置度和孔边距影响强度、装配和清洗
洁净颗粒、残留、水迹及离子/金属(如适用)必须与后续制程和检测能力匹配
结构与功能

一般需要做成什么样子

可做成矩形、方形、圆片/晶圆、环形、带圆角或异形轮廓;可增加安装孔、微孔阵列、长槽、开窗、台阶和倒角;表面可保持原始状态、研磨、抛光或单面磨砂。

  • 承载薄膜、芯片、电极、光学元件或微结构
  • 隔离电、化学介质、颗粒或环境
  • 提供可镀膜、可键合或可粘接的透明界面
  • 定位孔位、器件、流道、光路和装配基准
性能要求

建议重点确认的性能

  • 材料 CTE、应变点、透过、介电和碱含量
  • 外形、厚度、TTV、平面度和平行度
  • 功能面粗糙度、划伤麻点和洁净
  • 孔槽、边缘、倒角和局部应力控制
  • 材料批次、检验方法和交付追溯
询价准备

请在图纸或询价中提供

应用、工作波段、温度与介质、材料牌号、尺寸厚度、孔槽、基准、TTV/平面度/平行度、两面表面等级、后续镀膜/键合/光刻/强化、洁净、数量和包装。

以上参数用于前期材料与工艺选型,不构成对所有尺寸、厚度和材料的统一保证。最终规格、测量方法与交付标准以双方确认的图纸、样件和订单文件为准。

01

应用条件梳理

确认工作温度、波段、化学环境、厚度和后续镀膜、键合或装配条件。

玻璃基板加工与材料准备玻璃基板加工检验
02

材料与规格确认

比较热膨胀、透光、机械和加工特性,选择合适牌号及原片规格。

03

按图加工与表面建立

完成切割、孔位、边缘和必要的研磨抛光,保护关键功能面。

04

检验与可追溯交付

按图纸检查尺寸、表面与洁净要求,并根据项目提供材料与批次资料。

让材料选择与加工要求从同一份图纸开始

发送图纸和关键验收项,我们将结合材料与加工路线进行项目评估。